Die Bewegung wird hier gezeigt.
Wichtig: Jedes Gleiten, Rollen oder andere Bewegungen sind aussen. Deshalb ist die Partikelgeneration extrem niedrig. Und die Mechanik ist zwangsgeführt während dem gesamten Bewegungsablauf. Nichts kann aushängen, es ist nicht möglich, die 2 Achsen der Bewegung zu stören.
Auch hier, wie im "normalen" Schieber, ist eine L-förmig ausgebildete Nut, die den Teller und die Mechanik führt und steuert.
Ein Metallbalg dichtet das Vakuum nach aussen.
Eine vulkanisierte Dichtung auf dem Ventilteller dichtet auf einer ebenen Fläche des Gehäuses.
|
