VSE Vakuumtechnik hat einen herausragenden partikelfreien Schieber erfunden und entwickelt, hauptsächlich als Schlitz-Schieber für die Halbleiter-Industrie.
Dieser Schieber hat keinerlei gleitende Reibungen im Vakuum, alle bewegten Teile wie Lager, Rollen, Zylinder und dergleichen sind ausserhalb des Vakuumraumes und haben daher keinen Einfluss auf die Partikelgeneration. Deshalb können diese bewegten Teile geschmiert werden. Auch keine Führungen, Stangen oder Anlaufschrägen sind vorhanden. Das System ist stark genug, um alle auftretenden Kräfte aufzunehmen.
Im Vakuum ist lediglich der Metallbalg und der Ventilteller. Der Teller und sein Dichtpartner im Inneren des Gehäuses ist ohne jede komplizierte dreidimensionale Geometrie.
Ausserdem hat dieser Schieber keine druckbeaufschlagten Elemente wie etwa pneumatische Zylinder im Vakuumraum. Es besteht eine klare Trennung zwischen diesen beiden sensiblen Bereichen.
Lange Lebensdauer, sehr geringe Partikelgeneration, kompakte Dimensionen, gebaut nach SEMI-Normen.
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